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1. 产品概述
Polaris系列 12英寸通用物理气相沉积系统，磁控溅射源和腔室结构的设计有效提高靶材利用率。
2. 设备用途/原理
Polaris系列 12英寸通用物理气相沉积系统，磁控溅射源和腔室结构的设计有效提高靶材利用率，灵活的腔室配置，针对先进封装域优化、稳定的传输系统，兼容玻璃片、翘曲片、键合片等多种类型基片传输，稳定并且低的Rc表现，良好的颗粒和应力控制能力，优化的工艺流程带来大产能表现，低运营成本。
3. 设备特点
晶圆尺寸 12英寸，适用材料 铜、钛、氮化钛、钽、氮化钽、钨化钛、金、铝等，适用工艺 电、先进封装中的UBM/RDL，适用域 新兴应用、先进封装。
售后服务
60天
1年
安装调试现场免费培训
12英寸通用物理气相沉积系统信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于 12英寸通用物理气相沉积系统报价、型号、参数等信息，深圳市矢量科学仪器有限公司客服电话：400-860-5168转5919，欢迎来电或留言咨询。
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