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研究开发用中电流离子注入设备IMX-3500
中电流离子注入装置IMX-3500为大能量200keV、对应大晶圆尺寸8inch的离子注入装置，适用于大学等机构的研究开发。
产品特性 / Product characteristics
• 可适用于晶圆尺寸8inch等，搭载了可对应不定形基板的台板。
•离子源，除Gas source之外，另外可以使用安全方面更容易处理的B、P、As离子等固体蒸发源。•HV terminal的部分，与量产装置是同样的构成，可确保高信赖性。产品应用 / Product application
• 教育、研究开发等
产品参数 / Product parameters
1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年（公司成立年）
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额
售后服务
60天
1年
安装调试现场免费培训
离子注入设备信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于离子注入设备报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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