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1 产品概述：
全自动单轴减薄机是一款高精度、高效率的研削设备，专为半导体制造、硅片加工、光学材料处理及薄膜材料制备等领域设计。该设备集成了全自动上、下片系统，采用先进的晶圆机械手取片技术，结合自动对中、清洗、干燥功能，实现了从盒到盒、干进干出的全自动减薄抛光研削加工流程。全自动单轴减薄机以其卓越的性能和广泛的应用领域，在现代精密制造领域中占据重要地位。
2 设备用途：
全自动单轴减薄机的主要用途包括：
半导体制造：在半导体制造过程中，对晶圆进行精确减薄，以满足后续工艺对晶圆厚度的严格要求。
硅片加工：对硅片进行高精度研削，调整硅片厚度，提高硅片的质量和加工效率。
光学材料处理：在光学材料制备过程中，对材料进行精确减薄，以满足光学元件对材料厚度和表面粗糙度的特殊要求。
薄膜材料制备：在薄膜材料制备领域，全自动单轴减薄机可用于对薄膜进行精确控制厚度的研削加工。
3. 设备特点
全自动单轴减薄机具有以下显著特点：
高精度：采用先进的研磨技术和精密的控制系统，确保减薄加工的高精度和一致性。厚度在线测量重复精度可达±0.001 mm，满足高精度加工需求。
全自动化：配备全自动上、下片系统，实现晶圆从取片到加工完成的全自动化流程，减少人工干预，提高生产效率和产品质量。
兼容性好：可磨削各类半导体材料，适应2-12英寸晶圆减薄，满足不同尺寸和材料的加工需求。
功能全面：具备自动厚度测量、多段研削程序、超负载等待等功能，可根据不同工艺需求进行灵活设置和调整。
综上所述，全自动单轴减薄机以其高精度、全自动化、兼容性好、功能全面和高效能等特点，在半导体制造、硅片加工、光学材料处理及薄膜材料制备等领域发挥着重要作用。随着科技的进步和市场需求的增长，全自动单轴减薄机将继续保持其领先地位，并不断推动相关行业的发展。
4 设备参数：
项目 | IVG-2040 | IVG-3040 |
大晶圆尺寸 | 8英寸 | 12英寸 |
砂轮规格 | Ø203(OD)mm | Ø303(OD)mm |
砂轮轴功率 | 6.0kW | 9.5kW |
砂轮轴转速范围 | 0~6000 RPM | 0~4000 RPM |
工作台转速 | 0~380 RPM | 0~380 RPM |
Z轴进给速度 | 0.1~1000 um /sec | 0.1~1000 um /sec |
厚度在线测量重复精度 | ±0.001 mm | ±0.001 mm |
厚度在线测量范围（OMM） | 0-4800um | 0-4800um |
全自动上下片系统 | 有 | 有 |
NCG非接触实时测厚系统 | 可选配 | 可选配 |
60天
1年
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