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8英寸电感耦合等离子体-深硅刻蚀（ICP-DSE）设备
1. 详细介绍
Pishow® D 系列深刻蚀设备，是针对8英寸~6英寸产线或科研深硅刻蚀工艺的用设备，拥有自主开发的优化设计，保证了优异的刻蚀精度控制和损伤控制。
提供Si Bosch工艺的解决方案。
该设备高性价比的解决方案和优秀的空间利用率，可帮助不同客户实现产能升。
2. 系统特性
Pishow® D 系列是采用深硅刻蚀技术的电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备
提供Bosch解决方案，实现对Si的高深宽比刻蚀
优化的气柜设计，缩短进气距离，短工艺切换时间小于1.0
Pishow® D 系列可选择8~4英寸晶圆，提供单腔式和多腔式等多种腔室搭配方式
售后服务
60天
1年
安装调试现场免费培训
8英寸电感耦合等离子体-深硅刻蚀设备信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于8英寸电感耦合等离子体-深硅刻蚀设备报价、型号、参数等信息，深圳市矢量科学仪器有限公司客服电话：400-860-5168转5919，欢迎来电或留言咨询。
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