速普仪器【SuPro】小型磁控溅射镀膜仪ISC-150
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- 真空旋片泵（选配无油干泵）
- ≥4 m3/h
- ≤1 Pa
- 4-10 Pa，恒压控制
- ≤2 min
- 皮拉尼真空计
- φ150*120mm石英玻璃
- 靶材尺寸φ50*0.2mm
- 恒功率磁控DC电源Max. 30w
- 触摸屏控制，一键式操控
- 0-60 rpm，±40°偏转
高性能旋片泵产生一个洁净的<1
Pa的真空压强，通常抽真空时间小于3-5分钟。采用高品质恒功率磁控溅射电源，确保恒定沉积速率。磁控阴极的使用也有效减少等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤。特别适用于追求更高分辨率SEM
扫描电镜样品的喷金用途。触摸屏控制，即插即用。（PS:机械油泵可升级为无油干泵，超净间内专用）
选配旋转/偏转样品台模块，行星式公自转+偏转模式，实现3D样品或多空隙样品均匀喷镀导电层。
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磁控溅射沉积扫描电镜SEM样品贵金属导电膜能源/新能源 2018-12-05
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贵金属电极材料/喷金喷碳薄膜制备方案能源/新能源 2018-01-17
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 清华大学 | 2020-12-31 |
| 复纳科技 | 2020-12-28 |
| 贺利氏集团公司 | 2020-12-16 |
| 天美高新 | 2020-12-09 |
| 云南中医药大学 | 2020-12-07 |
| 上海交通大学 | 2020-11-25 |
| 东华大学 | 2020-11-18 |
| 核科学研究院 | 2020-10-13 |
| 中国钢铁研究总院 | 2020-09-15 |
| 厦门宏发集团 | 2020-09-01 |
| 合肥工业大学 | 2020-07-22 |
| 辽宁奥集利科技有限公司 | 2020-06-30 |
| 北京科技大学 | 2020-06-18 |
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