null其他半导体检测仪GBIT-WA-100_价格_深圳市易捷测试技术有限公司

全自动晶圆 2D/3D AOI 光学检验机

报价：¥30万 - 50万

型号：

GBIT-WA-100

产地：

日本

品牌：

评分：

产品详情

简介

该WAFER AOI光学检验系统用于wafer的正反面及显微镜检查，并进行分选，避免了操作员对wafer的直接接触。系统配置有1个Load port、单臂翻转机器人等组件，兼容8寸和12寸wafer，支持FOUP和AutoFOSB自动开盖，具有mapping功能。其高精度运动机构运行低噪、低尘且无需供油，采用触摸屏操作并符合GEM300及SEMI标准软件。

WAFER AOI光学检验系统

进料的wafer，经过正反面目检和显微镜正面micro检查，进行检查和分选。操作员不接触wafer，避免了污染和损伤wafer。

性能描述：

标准配备1个Load port，单臂翻转Robot，Pre-aligner，目检台和显微镜。
兼容8寸和12寸wafer
标准load port可以对应FOUP，AutoFOSB自动开盖，具备mapping功能
高精度运动机构，低噪音，低尘，无需供油。
触摸屏操作,界面友好。
对应GEM300，采用SEMI标准软件

晶圆光学检测机：

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