液氮低温探针台

LNPS-80 可以 对器件进行非破坏性的测试，器件的 最大尺寸可达到 80mm。可以对材料 或器件的电学特性、光电特性等效应 进行测量，为 DC 测量 RF 测量和微波特性测量提供一个低温测试平台。 纳米电子材料、量子线、量子点和半 导体材料是在探针台上进行测量的比 较典型的材料。探针台系统的探针、 测试电缆、样品台都有多种类型可供 选择，从而满足不同用户的需要。 LNPS-80 的温度变化范围从 80K 到 425K，系统需要使用液氮实现变温， 防热辐射屏大大降低了黑体辐射，提 高了制冷效率，减少了液氮消耗。样 品台上装有温度传感器和加热器，实现样品台快速变温以及精准控温。

LNPS-80 具有四个可以进行微调的探针臂，每个探针臂上的探针都 可以进行三维方向上的精准定位。探针采用铍或者钨制成，针尖直径 10 微米，减少探针 对样品的热传导。每个探针臂都采用 304 优质不锈钢加 G10 制作而成，每个探针臂都进 行有效的热沉，减小探针臂漏热进而减少探针对样品的漏热。 为了提高系统的实用性和操作性，系统配备了高放大倍数的显微镜。