| 型号： | AP3000/AP3000e |
| 产地： | 日本 |
| 品牌： | 东京精密 |
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晶圆探针机AP3000/AP3000e（以下简称探针）的设计特点如下。
应用于大直径晶圆（300 mm）
自动操作系统
清洁环境
高精度探测
高通量
低振动
可靠性高ITV精细对准
高刚度级多位点探测
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