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【分享】扫描电镜与能谱仪使用技巧培训

xiongey

2007/09/29

扫描电镜（SEM/EDS）

扫描电镜SEM和能谱仪EDAX的使用技巧
主办单位: 中国赛宝实验室可靠性研究分析中心
培训时间:2007年10月15日-18日
培训费用:4000元/人.四天（含培训费、证书费、资料费、正餐费）
(每单位两人以上可有折扣)
培训证书: 中国赛宝实验室可靠性研究分析中心培训证书
课程对象:
电镜操作工程师电子工艺工程师品质工程师管理工程师质检人员
培训报名中心:
报名电话:020-87236986-212 传真:020-87237185
Email:xiongey@ceprei.com 联系人:熊小姐
【主讲专家】
施明哲, 中国赛宝实验室(信产部电子第五研究所)可靠性研究分析中心高级工程师，三十年来主要从事扫描电子显微镜、X射线能量谱仪和波谱仪的操作、应用研究工作。是当前扫描电镜行业广泛知名的专家,在电子光学和真空技术方面有丰富的工作经验，在会议和刊物上发表了十多篇专业水平较高的文章，并参与编写《半导体失效机理及分析》一书。参与的科研工作曾多次获得所一等奖、二等奖；获国家级技术进步二等奖二次，三等奖一次。
课时安排：
日期时间授课内容
10月15日 8:30-12:00 扫描电镜理论学习
14:00-17:00
10月16日 8:30-12:00
14:00-17:00 扫描电镜演示与答疑
10月17日 8:30-12:00 能谱仪理论学习
14:00-17:00
10月18日 8:30-12:00
14:00-17:00 能谱仪演示与答疑
课程内容提纲
第一部分：扫描电镜
第一章、扫描电镜
1．1 慨论
1．2扫描电镜原理
1．3扫描电镜结构
1．4扫描电镜的分辨力
1．5扫描电镜图像的形成
第二章、高分辨扫描电子显微镜
2．1 场发射扫描电子显微镜
2．2 SE和BSE之差做为信号的方式
2．3 工作距离
2．4 使用强磁物镜的方式
第三章、扫描电子显微镜的实践
3．1 扫描电子显微镜的操作
3．2 扫描电子显微镜图像的毛病
3．3 扫描电子显微镜的保养
3．4 扫描电子显微镜的安装条件
3．5 扫描电子显微镜的验收与维护
3．6小结
第四章：电镜图像演示及答疑
第二部分：能谱分析
第一章、引言
第二章、EDS系统的工作原理
1．系统概述
2. 吸收和处理过程
3．计数率的考虑
4．谱仪的分辨力
第三章、X 射线的产生和与物质的相互作用
1．萤光产额
2．连续辐射的产生
3．莫塞莱定律X射线定性分析
4．X射线的吸收
5．二次发射（萤光）
第四章、X射线测量
第五章、能量定性分析
1．检出限
2．探测器的效率
3．空间分辨力
3．谱仪分辨力
4. 伪峰（“artifact”peaks）
5．定性分析结果的表示方法
第六章、电子显微镜的操作及其参数的选择
1．加速电压
2．电子源
3．孔径光栏选择
4．镜筒的合轴
5．样品/探测器的几何条件
第七章、定量分析
1．脉冲计数统计误差
2．块状试样的定量分析
第八章、能谱的定性和定量分析的方法与步骤
1．定性分析概述
2．定量分析概述
第九章、能谱失真与杂散幅射
1．谱峰的失真
2．背底的失真
3．杂散辐射第
第十章、能谱的验收与维护
第三部分：实际操作及答疑

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