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【求助】分子涡轮泵的问题

气质联用(GCMS)

  • 悬赏金额:20积分状态:已解决
  • 分子涡轮泵自动减速,停止。之前的征象是泵电流起初略高,~265mA,后来超高,~500mA,并停止工作。已经做过的诊断是diagnosis通过,前级泵无问题,风扇和电子元件除尘处理,仍无改善。我猜想会不会是泵自我保护?或是泵坏了(最好不是这样)
    请问高手:
    泵电流在哪些情况下会跑高?问题可能出在哪里?现在该做如何处理?
    谢谢!

newdayyeah 2007/10/08

泵电流高跟两个因素有关: 1、漏气造成真空泵负荷过大,类似于刚开机时泵电流一般都很高。是否有查看真空度? 2、环境温度过高,是否有开空调?

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  • newdayyeah

    第1楼2007/10/08

    泵电流高跟两个因素有关:
    1、漏气造成真空泵负荷过大,类似于刚开机时泵电流一般都很高。是否有查看真空度?
    2、环境温度过高,是否有开空调?

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  • linda7872

    第3楼2007/10/08

    谢谢,上述两原因已排除。初步推测泵可能坏了,仍有另一个奇怪的现象:离子规显示2~8mtorr,而正常值是~21mtorr

    newdayyeah 发表:泵电流高跟两个因素有关:
    1、漏气造成真空泵负荷过大,类似于刚开机时泵电流一般都很高。是否有查看真空度?
    2、环境温度过高,是否有开空调?

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