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【求助】SEM检测时会不会对样品造成结构上破坏

starfae

2008/04/20

扫描电镜（SEM/EDS）

电镜电子束打到物体表面后与检测物内的电子，原子发生碰撞时，会发射出二次电子，背散射电子，Ｘ射线等，那这个过程会不会对检测物的物理结构，分子结构造成破坏．对回复者提前说大话谢了．另外怎么样结贴了，麻烦也附上，因为我还是个新手不会结帖，谢谢．

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starfae

第1楼2008/04/20

怎么没人回答，我先顶一下．

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半个网客

第2楼2008/04/20

那要看试样的材料是什么,还要看测试条件,比如加速电压,束流密度等.
一般来说,普通金属合金,良好导电体不会有影响的.但是电绝缘体就难说了,比如软化温度不高的高分子材料,就只能用很低的加速电压.有的样品还必须用ESEM来代替SEM.

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starfae

第3楼2008/04/21

谢谢，有点理解了．

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starfae

第4楼2008/04/21

谢谢，有点理解了．

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starfae

第5楼2008/04/21

那对半导体材料会有影响没，比如说晶片
peterhsiao 发表:那要看试样的材料是什么,还要看测试条件,比如加速电压,束流密度等.
一般来说,普通金属合金,良好导电体不会有影响的.但是电绝缘体就难说了,比如软化温度不高的高分子材料,就只能用很低的加速电压.有的样品还必须用ESEM来代替SEM.

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半个网客

第6楼2008/04/22

因为有电子束流注入，对于半导体器件极有可能造成破坏和失效；对于高纯度的半导体材料，适当调整加速电压和束流，应该是没有问题的。

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