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【求助】电子束焊接

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 请问有谁做过电子束焊接纳米线?怎么焊接?通入什么样的气氛或者有什么高招,请赐教一下,特别感谢!
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    +关注 私聊

  • jeolzxj

    第1楼2008/06/13

    FEI的GIS系统用Pt沉积可以实现。你的线宽要求多少？

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  • jennybj

    第2楼2008/06/19

    线宽大概200-300nm,我是新手,请问具体怎么沉积?多谢啦...

    jeolzxj 发表:FEI的GIS系统用Pt沉积可以实现。你的线宽要求多少？

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  • jeolzxj

    第3楼2008/06/19

    找一个FEI的双束FIB，自然就知道怎么做了，这是比较常用的功能。电子束沉积线宽最小能在几十个纳米左右。

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