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【求助】EDX的探测深度

扫描电镜(SEM/EDS)

  • edx分析时的深度是多少,可以调节吗?
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  • jzhx68

    第1楼2008/07/26

    一般可以通过调节加速电压进行调解。

    whynot728 发表:edx分析时的深度是多少,可以调节吗?

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  • atlas

    第2楼2008/07/28

    微米级,与物质原子序数有关,原轻则打入越深

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  • kying

    第3楼2008/08/22

    nm级,表层到10nm左右吧,属于表面元素分析。

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  • maxwell

    第4楼2008/08/23

    非纳米级,

    电子束打下去,形成一个梨形反馈区;深度大约是1-3微米

    kying 发表:nm级,表层到10nm左右吧,属于表面元素分析。

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  • jwlee

    第5楼2008/08/24

    1、EDX的探测深度大约为1-3微米;
    2、探测深度可由加速电压控制。加速电压越低,探测深度就越浅,反之越深;
    3、入射电子能量降低到一定程度时,X射线产生概率才最大,所以,样品表面产生X射线的概率并不是最大的。

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  • seal007

    第6楼2008/08/25

    jwlee 发表:1、EDX的探测深度大约为1-3微米;
    2、探测深度可由加速电压控制。加速电压越低,探测深度就越浅,反之越深;
    3、入射电子能量降低到一定程度时,X射线产生概率才最大,所以,样品表面产生X射线的概率并不是最大的。

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  • hjatfirst

    第10楼2010/01/22

    杯具啦!
    为啥我的样品扫描不对呢,金属含量完全不对啊!

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