会不会是你的α角设置有问题,一般低倍下设定为3,到了高分辨时设定为1,而且一般都要调节高压中心的。如果在1下观察低倍,就有你说的那个小圆斑。
kgarnett11 发表:合轴大家还有好的经验吗?好像调来调去总有些不理想,特别是SPOT SIZE变换那个,应该调的是CONDENSER LENS的ALIGNMENT。
我碰到个问题,
如果SPOT SIZE 1 的时候,总是小圆斑中间还有一小块更亮的区域,而且它们的中心并不同心,这个时候怎么确定spot是在中间了呢?我调了COND STIG之后也还是这样(J-2010)。
我是要用40K做alignment,然后再用200k做的