ICP灭火的原因

看看雾化室有没有积水。

看看气体是否纯度够；是不是线圈上有水？

可以查一下氩气纯度，我们就是因为氩气纯度不好，有的根本点不着火，有的能点着，但用着过程自己就灭了，换瓶好的，就没事了。

呵呵，英雄所见略同，楼上的你们是MS吧

http://www.instrument.com.cn/bbs/detail.asp/threadid/87436/forumid/37/query/search看看这个和精华区已经有讨论的

跟你说你可能不相信，有可能是电源坏了。去年年底我们的就是这样的，测量没有问题，就是熄火。还以为是气的问题，最后才发现是电源不行了，换了一个2w多

我们的也点不着火
他们说是高频坏了 换个要8W,晕

灭火或点不着火是两个概念吧

单独讲灭火：
１．Ar 不纯
２．泵管漏气．
３．ＲＦ功率发生器
４．工作线圈
５．各种工作气体的流量．
６．泵夹松到．
７．工作环境条件．