【讨论】请教关于聚光镜光栏对中和矫像散，大家来讨论一下这个常见问题

我一般是用插入光阑后看有没有平移的方法，倒没有发现在同一个spot size下有会聚散开不协调的情况，是不是voltage/current center的问题？
如果经常用小束斑，为何不用STEM而用TEM呢？

如果聚光镜没有像散，在两个方向上都应该是圆的。如果无论如何都不能使两个方向同时变圆，一种可能的原因是光阑脏了。聚光镜像散和放大倍数没有关系，但是微小的像散在低倍下看不清楚。所以最好到高倍下检查一下，高倍下没问题，低倍下就不应该看到明显像散。除非是工作模式变了。
如果不能做得很理想，就只顾及小光斑的像散吧，如果你很关心小光斑应用的话。
如果其它对中偏得太离谱，聚光镜像散会比较奇怪。所以如果感觉不满意，可以整体反复调几遍，应该就比较好了。