扫描电镜(SEM/EDS)
78668662
第1楼2009/07/02
SEM、TEM可以吗?
azuoin
第2楼2014/04/03
不知道你这个膜穿透区域直径有多少? 如果直径在微米级以上,可以通过成像椭偏仪来检测,它能测量绘制多层薄膜的三维图形。虽然时间有些长了,但是还想答复一下,希望能给关注这个问题的朋友一个参考解决办法。
cvbs11
第3楼2014/04/07
最好使用FIB+TEM或者SEM来确认,单纯测量膜的厚度,可以用XRR测量
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