【求助】如何清洗SEM探头

呵﹐應該是鏡筒臟了﹐不是探頭吧﹖

那是物镜极靴脏了吧~LZ做过铁粉或者磁性样品？把样品仓打开，拿个吸尘器套上真空泵用的接管吸一吸一般就可以。

楼主没有经过电镜培训。

不在现场不太好说，发一张图片看看。换一个样品直接在最低倍率观察，有没有框框，如果有框框，那是镜筒污染了。如果没有框框，换成高倍率，过一段时间转回到最小倍率，如果出现了框框，那是试样被污染了。

背散射探头是不是装在上面？

准确的说应该是物镜下极靴孔上有污染物挡住了扫描光线在图像上留下的阴影。
2楼的办法可行，一定小心，有些磁性粉末有可能进入镜筒，严重者电子束下来的很少，图像亮度非常低，用此办法简单有效。
如果图像亮度影响不大，可以用脱脂棉签沾上少许酒精，不要太湿，擦拭物镜下极靴孔，转一下拿出来换新的棉签，反复多次，直到棉签不脏为止。切忌用一个棉签反复蹭！

楼主可以放心，肯定不是二次电子探头脏了，二次电子探头里主要是有一个闪烁体，那个东西虽然是消耗品，但它的消耗和污染无关。

我判断，楼主看到的圈是物镜光阑的孔径，如果你稍微放大观察倍数，就会发现这个孔就不见了。而你看到的毛圈应该就是光阑孔径上的污染。建议楼主对物镜光阑进行清理，如果使用时间已经较长，建议进行更换。方法也不算难，可以请教一下厂家工程师，使用无水乙醇就可以。

如果清理后效果还不是很好，就只能对整个光路进行清洗了，这时最好请厂家工程师前来。
附一张图，解答一下二次电子探头和背散射探头位置的问题：

我觉得污染应该不在光阑孔上的，阴影只能在扫描光栅的某个截面上，因为在光阑孔处时刻充满电子束，阻挡的是电子束中的一点，在图像中应该不会直接看到阴影。光阑的污染直接造成象散的增加！
而且在低工作距离最低倍数下，看到的圆圈也是下极靴孔的投影，有些电镜物镜光阑像似乎是可以看到，但需要把焦点聚集在光阑上，在显示器上显示一个圆的亮斑。

syning90(syning90) 发表:楼主可以放心，肯定不是二次电子探头脏了，二次电子探头里主要是有一个闪烁体，那个东西虽然是消耗品，但它的消耗和污染无关。

我判断，楼主看到的圈是物镜光阑的孔径，如果你稍微放大观察倍数，就会发现这个孔就不见了。而你看到的毛圈应该就是光阑孔径上的污染。建议楼主对物镜光阑进行清理，如果使用时间已经较长，建议进行更换。方法也不算难，可以请教一下厂家工程师，使用无水乙醇就可以。

如果清理后效果还不是很好，就只能对整个光路进行清洗了，这时最好请厂家工程师前来。
附一张图，解答一下二次电子探头和背散射探头位置的问题：