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当前位置： 仪器社区 >显微镜 > 扫描电镜（SEM/EDS） > 帖子详情

【原创】扫描电镜故障点排查

  • fengyonghe
    2009/08/05
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 有两位朋友提出了扫描电镜的图像问题，希望能与阁下共同探讨
    扫描电镜故障部位的判断：
    故障现象：
    1    观察图像有严重雪花。利用能谱仪判断故障部位。按照你做能谱分析设置的条件以TV方式收谱。如果收谱计数率正常，则镜筒部分正常 。故障在成像系统，包括二次电子探测器。如果收谱计数率很低则故障在镜筒部分，包括灯丝对中、灯丝和维氏帽的距离。
    2    观察图像模糊不清：先确定束斑大小的选择是正确的，仔细观察图像有无流动感。若图像有流动感且调节象散无效，必须清洗镜筒，若图像没有流动感，说明束斑已经变大，电子束聚焦不良，需要检修电磁透镜及有关电路。
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    +关注 私聊

  • weichangzhao

    第1楼2009/08/05

    对照你说的，我想我们的电镜可能是电磁透镜出了问题。找人试一下

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    +关注 私聊

  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第2楼2009/08/14

    借贵贴求助，场发射电镜，枪真空一直上不去是什么故障？求助

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    +关注 私聊

  • 朝阳

    第3楼2009/08/24

    可以负责人的告诉您，您说的很片面。

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    +关注 私聊

  • 朝阳

    第4楼2009/08/24

    2种可能，要么真空密封不好，要么真空探测器故障。

    amoslau 发表:借贵贴求助，场发射电镜，枪真空一直上不去是什么故障？求助

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