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【求助】请教JEOL 6390维护相关问题

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 新手请各位高人指点:
    1、电镜环境有无温湿度要求?
    2、电镜经常开关机(每天开关一次)对机器好吗?
    3、电镜Spot size 一般开到多少图像较清晰?经常开到50以上对机器有影响吗?
    4、样品喷Pt后还有漂移现象,请问是何原因导致,如何解决?喷Pt时,参数如何设置?
    5、电镜如何保养?

    以上请各位指点,小弟不胜感激!!
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  • firesoul119

    第1楼2009/09/13

    以前的帖子有一些是讨论电镜使用和维护的,可以先参考参考!我先帮你顶一贴,FYI!
    1>有 (温度22-28C,湿度60以下)
    2>应该可以的。
    PS:应该有EDX吧?需要补充液氮么?以前的帖子建议液氮不间断(对探测器的Si-Li合金有益,但也要考虑实际的设备使用率)
    3>SPOT SIZE和加速电压 根据样品不同设定也不同,我这边拍照一般用15-20KV,SPOT SIZE 35,WD 10MM。能谱时SPOT SIZE 会高一些(非金属样品时)。50以上对非金属的样品有损伤,放大到5000倍以上的分辨率可能也受限。
    4>如果喷镀的厚度足够了,还可以用一小条导电胶布将样品表面PT层连接到样品基台上。
    5>按流程操作,注意WD和样品的高度,注意真空度,循环机温度,注意样品是否有磁性,是否含水或其他挥发性有机物质等等等等。

    以上/

    vicart 发表:新手请各位高人指点:
    1、电镜环境有无温湿度要求?
    2、电镜经常开关机(每天开关一次)对机器好吗?
    3、电镜Spot size 一般开到多少图像较清晰?经常开到50以上对机器有影响吗?
    4、样品喷Pt后还有漂移现象,请问是何原因导致,如何解决?喷Pt时,参数如何设置?
    5、电镜如何保养?

    以上请各位指点,小弟不胜感激!!

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