扫描电镜(SEM/EDS)
nanhuajun
第1楼2011/11/20
我真的不知道。
tomorrow_oneday
第2楼2011/11/21
包埋。然后切。
tedyli2007
第3楼2011/11/23
二氧化硅、晶元一类比较脆的衬底样品可以使用裂片的办法直接做断面,如果PCB、FPC或者质地软的可以树脂包埋再抛光
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