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【求助】薄膜样品的断面的观察

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 如果做薄膜样品断面的扫描电镜,该怎么制样呀,厚度大概在几百个微米,上面涂了3层.谢谢!!!!
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  • nanhuajun

    第1楼2011/11/20

    我真的不知道。

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  • tomorrow_oneday

    第2楼2011/11/21

    包埋。然后切。

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  • tedyli2007

    第3楼2011/11/23

    二氧化硅、晶元一类比较脆的衬底样品可以使用裂片的办法直接做断面,如果PCB、FPC或者质地软的可以树脂包埋再抛光

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