【求助】开机出现异常

我也不知道，帮你顶下。。

请检查样品台和样品室之间，或者是电子枪部位的o形密封圈是否良好，如果破损可更换，一般随机都有配件。

不好意思，您能不能更为详细得讲解一下您那边的情况？！
先报一下仪器的型号，钨灯丝还是场发射？您指的开机是否DISPLAY电源Power ON？之前您做过什么样的作业？等等。要不然工程师没法判断仪器的故障。

真空有故障，请检查有关的O型圈（电子枪、载物台等）。在抽真空的过程中如果检测系统发现真空度降低，就会出现你说的那些情况。

仪器型号:JSM-5610LV 用的是钨灯丝,就是早上正常开机,主机开了以后在抽真空的时候显示了那样的对话框

用不掉纤维的绒布等蘸上酒精把样品仓门（特别是橡胶圈附近）擦拭干净，看看会不会好一点，这个地方脏了容易漏气

楼主的电镜和我差不多，我是JSM-5600LV，我也经常遇到这样的情况，建议从以下几个方面进行检查：
一.O形圈估计脏化，先把O形圈取下来用酒精擦拭一下 ，然后用真空脂均匀地抹在放置O形圈的地方，然后用酒精擦拭样品室仓门；
二.电子枪仓门的O形圈估计脏化，用同样的方法检查一下。

是不是低真空更容易出现“脏化”？高真空似乎很少见这种故障！

机械泵自动关闭，说明系统漏气严重，不仅要检查O型密封圈，还要检查前级真空管路及接口，阀门，波纹管等。