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【求助】什么是压差光阑?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 请问一下环境扫描电镜中的压差光阑是怎么一回事?它的工作原理是什么?
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  • fengyonghe

    第1楼2010/02/21

    在http://bbs.instrument.com.cn/shtml/20050815/208818//index_3.shtml里有一点讨论:在FEI的环境扫描电镜(ESEM)中,还有一种称为压差光阑。它处于样品室与镜筒之间,允许电子束通过,同时保证镜筒内较高的真空。
    因环扫时样品室压力升高,但电子枪压力仍必须保持高真空,这就形成了压力差,压差光栏起到这个作用。

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  • sunzhaod

    第2楼2010/02/21

    谢谢了!但是还搞不清用的什么材料!能让电子束通过,气体分子却不行。

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  • 蓝莓口香糖

    第3楼2010/02/24

    其实就是镜筒上的一个洞。镜筒内部并不象外面看起来那么大,在镜筒和样品室直接的连接部位开口很小,刚好能让电子束穿过。气体当然也可以从这里畅通无阻,但是因为开口小,所以扩散速度比较慢,在配合连续工作的抽空设备,可以造成开口一侧真空很好,而另一侧真空度不那么好。我们习惯了把aperture翻译成光阑,其实aperture的基本意思就是“洞”。

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  • heihei727

    第4楼2010/02/26

    厉害,解释的这么通透清楚

    蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:其实就是镜筒上的一个洞。镜筒内部并不象外面看起来那么大,在镜筒和样品室直接的连接部位开口很小,刚好能让电子束穿过。气体当然也可以从这里畅通无阻,但是因为开口小,所以扩散速度比较慢,在配合连续工作的抽空设备,可以造成开口一侧真空很好,而另一侧真空度不那么好。我们习惯了把aperture翻译成光阑,其实aperture的基本意思就是“洞”。

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  • syning90

    第5楼2010/03/08

    高手高手,解释的很专业,补充一下,这个压差光阑也确有其物,是一个很小的金属圆片,中间有一个直径在300微米左右的小洞,作用正如蓝莓口香糖(drizzlemiao)所说。安装在光路的最下端,一般位于背散射探头之上。

    蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:其实就是镜筒上的一个洞。镜筒内部并不象外面看起来那么大,在镜筒和样品室直接的连接部位开口很小,刚好能让电子束穿过。气体当然也可以从这里畅通无阻,但是因为开口小,所以扩散速度比较慢,在配合连续工作的抽空设备,可以造成开口一侧真空很好,而另一侧真空度不那么好。我们习惯了把aperture翻译成光阑,其实aperture的基本意思就是“洞”。

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