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【求助】气相沉积PECVD技术

气相色谱（GC）

  • Vertical in line continueous system 气相沉积PECVD

    美国的一种气相沉积PECVD技术，谁知道这个技术和平板PECVD技术是什么关系？
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  • ppttmmyy

    第1楼2013/04/30

    气相沉积(PECVD)技术是借助于辉光放电等离子体使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。

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