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这个照片也很少见,见过的举手

扫描电镜(SEM/EDS)

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  • 第1楼2005/11/10

    不能发言咯,还有好东西发的,结果【系统提示】由于该用户的声望值小于50,所以,他所发布的附件需要验证通过后方可显示!!算了,算了

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  • 第2楼2005/11/10

    你上传5张照片我给你验证通过就可以自由上传了。

    tao______ 发表: 不能发言咯,还有好东西发的,结果【系统提示】由于该用户的声望值小于50,所以,他所发布的附件需要验证通过后方可显示!!算了,算了

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  • 第6楼2005/11/10

    还是pizy手快,多谢了:)
    这个照片的确没见过,我开始看第一张照片觉得可能是溅射离子泵或者分子泵在面板后面的部分,但后面的照片里显示是在维修和拆卸,而且环境要求很高,最可疑的是那个emergency off的按钮,这个是bruker的XRD上见过,下面的插头还有X-Ray的传输电缆,那么这个东西难道和XPS类似?乱猜的,见笑了。

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  • 第7楼2005/11/11

    首先这台仪器是SEM,体积非常大可以说是巨大无比,可以从图片中CHAMBER见一斑,非常大的CHAMBER 大概是QUANTA600 号称FEI最大的CHAMMBER 的十倍左右,斑竹观察非常仔细,X-RAY的CABLE被你发现了,那么就是肯定在这个上面有能谱的,环境的确要求非常高是CLASS100的环境,怎么说CLASS100呢,最高环境等级为CLASS1,医院手术室的环境要求是CLASS10000,可见这里的环境是非常苛刻的,EMO按钮只有在大型仪器上会有,这是ISO要求的。现在大家应该知道那个炮弹一样的东西是电子枪了。最后说这个机台是KLA公司的产品,美国的军工企业。

    shxie 发表:还是pizy手快,多谢了:)
    这个照片的确没见过,我开始看第一张照片觉得可能是溅射离子泵或者分子泵在面板后面的部分,但后面的照片里显示是在维修和拆卸,而且环境要求很高,最可疑的是那个emergency off的按钮,这个是bruker的XRD上见过,下面的插头还有X-Ray的传输电缆,那么这个东西难道和XPS类似?乱猜的,见笑了。

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  • 第8楼2005/11/12

    这么大的电子枪,还是SEM,那么是不是高压SEM?看起来有几个控制箱,和现在普通的SEM大大不同,那么是不是由于高压需要高真空,对真空的一些控制箱?或者对产率很高的X射线有控制?

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  • 第10楼2005/11/18

    Kla-Tencor,洁净室.
    兄弟是在那个FAB工作啊?
    那里应该禁止拍照的,哈哈
    Kla的SEM,一般都是CD-SEM 吧?
    效果一般,但来头比较大.价格巨贵,也只有FAB工厂这种烧钱的地方买的起.

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