仪器信息网APP

选仪器、听讲座、看资讯

立即体验

当前位置：仪器社区 >X射线仪器 > X射线荧光光谱仪（XRF） > 帖子详情

【求助】薄膜被氧化了怎么表征啊？求解

allenren

2011/03/16

X射线荧光光谱仪（XRF）

各位大侠！
本人需要测试玻璃基板上CuInGa合金表面的氧化情况，（具体需要知道氧化层的厚度，分布和成分），用什么测试方法。高手指教
谢谢！
CuInGa的合金薄膜制备方法是磁控溅射，厚度大概几个微米。

XRD小角可以看表面的氧化层吗？XPS能分析出氧化物吗？因为氧化膜很薄（估计几个纳米），所以不清楚这些仪器的能力是否可以达到。

分
该帖子已被版主-金水楼台先得月加2积分，加2经验;加分理由:好帖

相关话题

金水楼台先得月

第1楼2011/03/16

建议放到X射线版面。

0

hsteel

第2楼2011/03/16

可以尝试用小角度的X射线衍射

0

allenren

第3楼2011/03/17

尝试了，不可以。没信号

hsteel(hsteel) 发表:可以尝试用小角度的X射线衍射

0

金水楼台先得月

第4楼2011/03/17

是不是通过测定氧化物含量评价合金的好坏？

0

allenren

第5楼2011/03/17

不是的，因为要在合金表面再沉积别的元素，所以需要知道沉积前氧化的怎么样？比如深度多少，氧化物成分。我想XPS应该可以做氧化物的成分分析，但是深度的精确信息就不知道怎样准确得知了。depth profile 应该不可以吧？TEM的cross-section 可以看到表面氧化层的明显边界吗？如果可以，我想这样最好了。

金水楼台先得月(albert800922) 发表:是不是通过测定氧化物含量评价合金的好坏？

0

hsteel

第6楼2011/03/17

辉光光谱可以测随深度变化的元素含量，可以尝试

0

allenren

第7楼2011/03/17

没用过这个。那还不如SIMS的精度高吧？
辉光放电的detect limit和depth resolution分别是多少？需要calibrate深度吗

hsteel(hsteel) 发表:辉光光谱可以测随深度变化的元素含量，可以尝试

0

金水楼台先得月

第8楼2011/03/17

期待你最后的解决办法

0

近期热榜

热门活动

猜你喜欢最新推荐热门推荐更多推荐

品牌合作伙伴

日立科学仪器

珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）

珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）

日本电子株式会社

赛默飞世尔科技

马尔文帕纳科

上海仪电科仪

梅特勒托利多

布鲁克核磁

举报帖子

点赞用户

好友列表

加载中...

正在为您切换请稍后...