扫描电镜(SEM/EDS)
jeolzxj
第1楼2006/01/07
离子泵当然不只是在场发射电子枪才有,LaB6电子枪也有.
urumqi
第2楼2006/01/08
FEI TECNAI 系列的TEM用离子泵
共工
第3楼2006/01/09
是啊, LAB6扫描电镜 和 透射 都用 离子泵, 但哪位见过 钨丝扫描用离子泵的呢
saintchen
第5楼2006/01/11
离子泵是属于3级泵吧,它和二级泵:分子泵、扩散泵,及一级泵机械泵,没有什么可比性吧。
萧文
第6楼2006/01/11
您这里说的3级泵是否指用离子泵必须要用分子泵喝机械泵为子泵呢?不明白,请指教。
skyhunter
第7楼2006/01/11
好象是这样,机械泵抽第一级真空,分子泵抽第二级真空,然后再用离子泵抽第三级真空,效果不错哦.六硼化镧枪就是这么用的.
第9楼2006/01/11
一般,机械泵称为一级泵,真空度大概在10-2Pa左右;分子泵,扩散泵称为二级泵,真空度大概在10-4Pa左右;离子泵成为三级泵,真空度可达10-8Pa。正如您所说,先得机械泵工作,达到一定真空度后,二级泵工作,达到一定真空度后,三级泵才开始工作。
第10楼2006/01/11
]正确,但 钨丝扫描电镜上面的 能谱系统 是很需要 离子泵的, 几乎没有电镜没有能谱的。
第11楼2006/01/11
第12楼2006/01/11
拜托,1bar=750torr。 Pa也是计量压力的单位
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