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【求助】SEM 图像模糊变形

  • xiangcai315
    2011/03/23
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 型号:日本电子jsm6460
    现象:前两天机器状态还很好,今天开机后图像模糊调不清楚,对焦,象散,光阑...常规调节方式都调不清楚,scan2明明已经调好了,scan3扫描时图像开始弯曲,本来应该很直的竖线条变弯曲,曲度很大。照出来的的图中部稍微清晰点,上下部分都虚着,而且变形了。请问怎么解决?
    如图:
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  • 小M

    第1楼2011/03/23

    应助达人

    这张图片很不清晰啊,是聚焦漂移吗?样品是什么,是不是导电性不好?

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  • fengyonghe

    第2楼2011/03/23

    是不是所有的倍率下都是这样的?有可能是倍率漂移造成的。

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  • bin2xu

    第4楼2011/04/03

    如果排除样品原因,调光学系统都不能解决个人感觉有可能是污染或探头、灯丝损伤引起。

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  • james8039

    第5楼2011/04/19

    也遇到类似的问题 还请高手们指教

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  • Ins_679c8240

    第6楼2021/06/07

    我也是这样,怎么都调不清晰

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  • UNM

    第7楼2021/06/11

    应助达人

    信号看起来很弱。用下标样或者金属样试试。

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  • Insm_d40d950e

    第8楼2021/07/29

    需要校正,不会可以问我

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  • 梦另一端

    第9楼2021/08/24

    怎么校正?

    Insm_d40d950e(Insm_d40d950e)发表:需要校正,不会可以问我

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