去年冬天
第1楼2011/04/19
(d)波谱仪由晶体衍射测定特征X 射线的波长,在测定时要求X射线源(样品与电子束的作川点)、衍射晶体、和探测器狭缝严格地在同一个聚焦圆上,否则即使符合Bragg 条件也测量不到X射线。在波谱仪中,衍射晶体和探测器都是运动部件,在运动中要保持上述三部分共圆,因此必须有精密的机构,加工精度也要求较高,这样就提高了波谱仪的成本。此外不适当的安装和操作也会使上述三点偏离共圆条件,所以要求较高的维护和操作水平。能谱仪的探测器可接收来自Si(Li)晶体所张立体角内的任何信号,对探测器在样品室内的位置无严格要求。就此点而言,造价比波谱仪低,且操作简便。
(e)能谱仪探测器的能量分辨率一般为140~150eV左右(分辨率与Si(Li)晶体的活性区面积有密切关系),波谱仪的分辨率一般约为5~10eV。因此能谱谱峰重叠较严重,信噪比也较差,谱峰重叠可通过数据处理于以剥离,当然由此会造成一定的分析误差。信噪比差还会影响到仪器的最低探测极限。此值与样品和仪器工作条件有关。对于能谱仪而言一般为千分之几的量级;波谱仪则为万分之几的量级。
(f)在能谱中还存在其它失真,如逃逸峰、脉冲堆积所造成的和峰、杂散辐射等。虽然这些失真大部分都可以辨认或于以修正,但这都是分析误差的来源。在波谱中失真较少。
(g)由于能谱仪的一些问题一方面引起分析误差,另一方面也造成了数据处理的复杂性。自80年代开始计算机就成为能谱仪的重要组成部分,对谱仪进行控制并联机处理数据。80年代中期以后更将计算机的作用扩大到图像处理等功能,成为能谱仪得以起飞的重要条件。波谱仪的数据处理相对地比较简单,较晚才开始配备计算机,这也是波谱仪发展较慢的原因之一。
(h)能谱仪和波谱仪的空间分辨率(指能分辨不同成分的两点之间的最小距离)基本相同。其原因是样品在电子束作用下产生特征X射线的区域是由电子的散射和穿透所决定的(见下图)。在束斑不太大的情况之下,与束斑尺寸无关。然后在透射电子显微镜中,当入射电子尚未在样品中散射时已经穿透了样品,所以能够产生特征X 射线的范围大大缩小。此时能谱仪的空间分辨率等于或小于样品的厚度。