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手动调节Gun Alignment

小不董

2006/01/18

扫描电镜（SEM/EDS）

这是我上次日本电子工程师来清洗电镜的时候传授的一点心得。
因为一直很忙，就要过春节了，所以赶紧写一点来一起分享手动调节Gun Alignment到最佳的一般步骤。机子型号：日本电子6063LV
在换灯丝或者是物镜光阑后一般都要手动调节Gun Alignment。特别是要做能谱的这点显得更加重要。虽然很多仪器都有AUTO调节的。但我个人认为手动的可能效果更好，而且掌握一下如何调节总没有错的。
1。在放大倍数到最小状态，适时可以变化，spot size 调节到30，tilt X、Y调至中央。shiftX、Y也调节到中央开始。
2。调节LC从左到右，直到黄带位置。（此过程会发现视图由暗变亮，后又变暗，再变亮。此sean wen曾经贴过图
能很好的说明。我们就要找这前面的那个饱和点。
3。AUTO ACB，对比度好了，倍率调节到最低。
4。分别调节tilt X、Y直到视图都最亮，中间可以再次AUTO ACB。
5。分别调节shift X、Y直到视图都最亮，中间可以再次AUTO ACB。
6。调节LC到最亮，如果比较不出来就要AUTO ACB（调节对比度）
7。再调节tiltX、Y和shiftX、Y。使视图最亮。
8。增大倍率，调焦，AUTO ACB *10000。
10。调节OL WOBBLE。再调节倍率最小。调节tiltX、Y 使视图最亮。
11。增大spotsize，应一直变亮，如果看不出变化现象，应再次AUTO ACB后再调节。若在增大spotsize的过程中，有变暗的情况时，调节shiftX、Y。使视图最亮，直到调节spotsize达到90左右时一直是视图在增亮的过程。
12。把spotsize调到30，再调节tiltX、Y。使视图最亮。
13。倍率增大，调焦后OL wobble使视图不在晃动。
14。变小倍率，增大spotsize检查是否有变暗的情况。如果有重复11步骤。
15。spotsize调回到30，再次调节tiltX、Y。使视图最亮。
16。放大倍率，调焦，调节stigmX、Y、OL wobble。
17。观察LC电流，一般有这样的关系：30KV在80+/-5uA、20KV在70+/-5uA、15KV在65uA左右。如果LC电流不在此范围内，可以点击set bias，调节coarse大小来调节LC电流。注意他们之间的关系。
18。在换灯丝的第二天，LC最好回调一点（这点其实很重要，可以延长灯丝的寿命）大家想想为什么。

精
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小不董

第1楼2006/01/18

应助达人

可能写的不是很好，不同的仪器操作步骤可能也不一样。
还有我要说，需要注意的一点：注意调节步骤，是在不同情况调节tilt和shift的。不要搞错了是什么时候调节哪个。

0

精
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萧文

第2楼2006/01/18

对Hitachi相似型号的用户应该都可以用的上的如果可以介绍一下为什么这样做，通用性就更强了

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小不董

第3楼2006/01/18

应助达人

希望对大家有用，至于为什么，大家可以讨论。是这样吗？
SeanWen 发表: 对Hitachi相似型号的用户应该都可以用的上的如果可以介绍一下为什么这样做，通用性就更强了

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darkeye

第4楼2006/01/19

也真麻烦,kykyd电镜手动灯丝饱和,根本不用看图象,上来就调节,10秒 over!

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saintchen

第5楼2006/01/20

灯丝饱和？可是楼主说的是整个镜筒的对中啊。好像概念不太一样？

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saintchen

第6楼2006/01/20

楼主细致！赞一个！原来我只是稀里糊涂手动调节，反正让图像最亮就好，呵呵。这回有了这个法宝，就更准确了。

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小不董

第7楼2006/01/20

应助达人

是的，我说的是在换灯丝以后的整个镜筒的对中啊，其中也要调节灯丝饱和点呀。就是在最后看电压，并调节时。
saintchen 发表:灯丝饱和？可是楼主说的是整个镜筒的对中啊。好像概念不太一样？

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奔跑的蜗牛

第8楼2006/01/23

灯丝饱和是要先调节的,但灯丝饱和调好以后才能调对中呀,而且对中是不影响灯丝饱和的啊.

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共工

第9楼2006/01/24

楼主真是细心人，佩服，顶置，我以为 SAINTCHEN朋友只喜欢自动对中，不过下面他也赞这个帖子。。。。。。
doxw0323 发表:这是我上次日本电子工程师来清洗电镜的时候传授的一点心得。
因为一直很忙，就要过春节了，所以赶紧写一点来一起分享手动调节Gun Alignment到最佳的一般步骤。机子型号：日本电子6063LV
在换灯丝或者是物镜光阑后一般都要手动调节Gun Alignment。特别是要做能谱的这点显得更加重要。虽然很多仪器都有AUTO调节的。但我个人认为手动的可能效果更好，而且掌握一下如何调节总没有错的。
1。在放大倍数到最小状态，适时可以变化，spot size 调节到30，tilt X、Y调至中央。shiftX、Y也调节到中央开始。
2。调节LC从左到右，直到黄带位置。（此过程会发现视图由暗变亮，后又变暗，再变亮。此sean wen曾经贴过图
能很好的说明。我们就要找这前面的那个饱和点。
3。AUTO ACB，对比度好了，倍率调节到最低。
4。分别调节tilt X、Y直到视图都最亮，中间可以再次AUTO ACB。
5。分别调节shift X、Y直到视图都最亮，中间可以再次AUTO ACB。
6。调节LC到最亮，如果比较不出来就要AUTO ACB（调节对比度）
7。再调节tiltX、Y和shiftX、Y。使视图最亮。
8。增大倍率，调焦，AUTO ACB *10000。
10。调节OL WOBBLE。再调节倍率最小。调节tiltX、Y 使视图最亮。
11。增大spotsize，应一直变亮，如果看不出变化现象，应再次AUTO ACB后再调节。若在增大spotsize的过程中，有变暗的情况时，调节shiftX、Y。使视图最亮，直到调节spotsize达到90左右时一直是视图在增亮的过程。
12。把spotsize调到30，再调节tiltX、Y。使视图最亮。
13。倍率增大，调焦后OL wobble使视图不在晃动。
14。变小倍率，增大spotsize检查是否有变暗的情况。如果有重复11步骤。
15。spotsize调回到30，再次调节tiltX、Y。使视图最亮。
16。放大倍率，调焦，调节stigmX、Y、OL wobble。
17。观察LC电流，一般有这样的关系：30KV在80+/-5uA、20KV在70+/-5uA、15KV在65uA左右。如果LC电流不在此范围内，可以点击set bias，调节coarse大小来调节LC电流。注意他们之间的关系。
18。在换灯丝的第二天，LC最好回调一点（这点其实很重要，可以延长灯丝的寿命）大家想想为什么。

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saintchen

第10楼2006/01/25

楼主真是细心人，佩服，顶置，我以为 SAINTCHEN朋友只喜欢自动对中，不过下面他也赞这个帖子。。。。。。[/quote]

值得赞的当然要赞！向楼主这样的就是值得钦佩！自动能完成，手动更优秀，这是现阶段很多家电和仪器的技术能达到的水平。我相信将来自动会取代手动的。我不知各位同仁有没有印象，小时候家里电视调台得手动，可现在有几个人买了新电视要手动搜台的。自动能完成！如果有细心人要给各个台排顺序，就可以手动搜台，那就是手动更优秀。不对么？我说了JEOL的自动功能很好，能够完成灯丝自动加热，自动准直，自动对中怎么了。我就是觉得这个功能是个进步，至少比有些电镜厂家还需要用户自己做这些强！这刺痛了一些厂家的托的神经，那么请汇报你们的主子改进技术，还有人强词夺理：那是为了让用户更聪明？！奇怪的言论，厂家的借口！

另外，请问这位RENXIN同志，你有数码相机么？你是选用手动模式还是选用自动模式？以前你用机械照相机用自动功能么？你是不是就因为你会机械照相机照相，就不让别人造数码相机了呢？

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