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用eds能谱测量氧化膜厚度

happydfli

2006/02/22

扫描电镜（SEM/EDS）

铝表面自然生长的氧化膜通常小于10nm，如果经过退火处理，氧化膜会随温度升高而增厚，曾经有人用SEM-EDS 测量铝样品表面区的氧的相对含量（面积比），并利用ESCA 化学分析电子光谱测量氧化膜的厚度，最后得出氧化膜厚度和氧相对含量的关系式，这样就可以通过电镜能谱得到氧化膜的厚度。

但以上方法对于电镜的试验条件变化比较敏感。

又听说利用辉光光谱GDS或GDOES可以测量类似的氧化膜厚度，即通过测量氧的浓度分布来反映膜的厚度，我相信这是可行的，各位谁知道上海哪里有这样的仪器？

又听说可以用XPS来测量膜厚，谁知道这方面的信息？

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毒菇九剑

第1楼2006/02/23

用场发射SEM结合能谱看应该可以吧. 辉光应该也可以
宝钢技术中心好像都有.

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毒菇九剑

第2楼2006/02/23

XPS也有做膜厚的, 复旦大学有的, 这个要问问版主了

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happydfli

第3楼2006/04/07

其实ESCA和XPS是一回事，刚知道。

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