分子涡轮泵问题

应助达人

你注意看看有没有矩管处积水，锥孔有没有堵到！

刚才去看了， 现在没有积水， 锥孔也没有堵。 之前应该也没有积水，因为排水管安装正确。
再看了错误报告， 是涡轮泵转速不正常和真空too high 和 time out、

现在涡轮泵转速是接近0了吗？重启仪器是重启的质谱仪吗？有试过关闭质谱电源重新再开机吗

请把 diagnostics —> View Error Log 日志贴出来。

一直显示2%， 重启是关闭电源再重启的。 感觉像是涡轮泵超过了最大转速，仪器启动保护程序shut down了。 不知道有没有保护住涡轮泵、、

好的 我到实验室就去抄写一下。

那前级泵的转速和真空度达到多少？前级泵真空要达到后才会启动分子涡轮泵的，在这之前有碰过质谱上的连接管吗？会漏气吗？

8.25 12:32 1143 turbo pump not at desired speed
8.25 12:34 1131 vaccuum pressure (AN) time out. vaccuum too high after the gate valve closed.

1143 的错误这是第一次出现。 1131 以前出现过一次，不过那时候我还没来，不知道什么情况。想请问老师涡轮泵有过速保护程序吗？出现这种情况时实验室去吃饭了， 没有及时手动停掉仪器。。

前级泵是机械泵吧， 前级泵的转速和真空度是调出哪个参数来看呢， 一直没有注意这个泵、 我们仪器一直是standby的，质谱连接管不会去动。 真空腔不密封漏气也会使涡轮泵不转吗？