timstoicpms
第3楼2011/11/12
国内主要是纳秒激光器:
四倍频266nm 、五倍频213nm Nd3+掺杂钇铝榴石固体激光,主要是 New Wave 公司的产品
http://www.esi.com/Products/NewWaveResearch/LaserAblation/NWR213.aspx
193nm ArF 气体准分子激光主要是Coherent 公司的产品
http://www.coherent.com.cn/pro.asp?idh=157
其次是 Resonetics 公司 http://www.resonetics.com/la/?p=laicp_tut
和 New Wave 公司 http://www.esi.com/Products/NewWaveResearch/LaserAblation/NWR193.aspx
New Wave 卖出国内第一台商品化的飞秒激光器,下图右侧是瓦里安820 四级杆ICP-MS。
http://www.esi.com/Products/NewWaveResearch/LaserAblation/NWRFemto.aspx
timstoicpms
第6楼2011/11/13
New Wave 的飞秒激光的“底盘” 跟193nm ArF准分子激光器 差不多
Coherent 公司的 GeoLasPro型193nm激光器
Resonetics公司的 RESOlution M-50型193nm激光器
德国哥廷根 Lamda Physik 公司的激光发生器(Laser Device) 被美国Coherent公司收购,注意看 Resonetics RESOlution M-50 也使用 Coherent ComPexPro的激光发生器。因此 Resonetics RESOlution M-50 与 Coherent GeoLas 是:激光发生器同源,但光路系统有差别。