SIMS(Secondary Ion mass Spectroscopy 二次离子探针和 S HRIMPII 高分辨离子质谱 异同点

应助达人

以聚焦很细(1～2微米)的高能（10～20千电子伏）一次离子束作为激发源照射样品表面，使其溅射出二次离子并引入质量分析器，按照质量与电荷之比进行质谱分析的高灵敏度微区成分分析仪器，简称离子探针。
一般讲的SIMS是指法国CAMECA制造的1280等型号的仪器。SHRIMP=The Sensitive High Resolution Ion Micro Probe，它也是二次离子探针质谱，是由澳大利亚国立大学制造的。SHRIMP Ⅱ是其第二代，有多个接收器，功能更强大。
主要都是用来做微区原位的同位素、元素含量分析，基本上不损耗样品。如做锆石铀-铅年代学测定，当然也可以做一些其它的同位素测定。
这二者的价格都在3000万RMB以上。其它也有一些厂家生产SIMS，功能没有此二者强大，价格可能是低一些。