有什么办法可以去除G1胶而不损坏Si的么？

有点没看明白，是截面样品还是平面样品，如果截面样品出了薄区，你可以用氩离子清洗试试，一般都是用它清理有机物什么的，不知道对G1胶有没有效。

谢谢先，这个试过了，离子清洗只能去除表面有机物，对于G1胶无能为力。

没有看明白 G1胶是什么时候到表面的？你是说在样品减薄好以后要去掉表面的胶？把打好的样品在丙酮里面多泡一会行吗？

我刚刚看错了，G1在截面中间吧。G1该属于Epoxidharz-Klebstoff, 用后似乎只能机械的方法去除。

嗯，G1是在截面中间。问了Gatan的人，说确实没有什么化学试剂去除G1胶的办法。

如图所示，样品需要看的是横截面，兴趣区是样品表面（不是横截面的表面）大约10nm的区域，表面有纳米级的小孔，不能被G1胶覆盖（否则就没有机会看到加热的情况了）。试了很久都没有成功，悲催啊

你的离子减薄仪有带冷台的吗，如果有我给你一个建议可以，应该可以行的。