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能谱分析如何选择加速电压？

sept

2012/07/25

扫描电镜（SEM/EDS）

能谱分析中，选择加速电压通常需要考虑如下因素：
1，加速电压必须大于被测元素线系的临界激发能。比如：NiK线的临界激发能为7.47kV，加速电压通常为其2-3倍，即15-20kV较合适。
2，需要有合适的过压比。如此可使试样中产生的X-ray有较高的强度，较高的峰背比。实验表明，过压比约为2.5倍时，X-ray强度最高。而过压比大于1时，才能激发出该特征x-ray。为了有效激发获得高峰值强度，过压比至少等于1.8.。如试样中元素较多，加速电压无法满足每个元素的过压比2.5倍要求，则尽可能保证加速电压超过大部分元素的临界激发能的1.5倍为好。
3，未达到能谱分析的统计性要求，至少保证x-ray计数总量约25w。则加速电压的高低，会影响采集到25w计数的时间等参数
4，空间分辨率。对于同种元素，加速电压越高，电子束穿透样品的深度、广度越大。则空间分辨率越差。而对于需要检测空间尺度较小的颗粒或薄膜时，设定低加速电压可有效提高分析的空间分辨率。但此时产生的xray产额较低，需要采集更长时间。且如不满足过压比要求，部分原子序数较高的元素的K线系难以激发。

通常选择20kV的加速电压，因为此时可以激发周期表中所有可分析元素的x-ray，至少一条x-ray被激发，不会漏检元素。而对于小颗粒薄膜或束流敏感材料，需要选择低电压分析时，尽量选择7kV以上，因为在7kV下，即使不能激发出最强线（K线系）也可以将元素周期表中所有可分析元素的x-ray激发出来。也就是说，如果对样品不了解的话，最低选用7kV也可对样品做较准确的定性分析。而如果确信样品中仅有原子序数较低的元素，如si等，则可以选择5kV，也不需担心漏检。

但是如果无需担心空间分辨率或样品损伤的问题，则对元素种类较多且含有原子序数较大元素的样品，尽量选择高加速电压，即能够激发出K线系。毕竟L线系或M线系多集中在轻能端，彼此重叠的可能性较高，误标的几率也较高。

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asahi42

第1楼2012/07/26

受教~多谢多谢！

0

ventyxu

第2楼2012/07/27

学习了

0

小M

第3楼2012/07/31

应助达人

排队来学习

0

scienceman

第4楼2012/08/07

好像老外一般选择15kv的比较多，兼顾了分辨率和产率。不过他们一般都用大束流。

1

sept

第5楼2012/09/29

是的，束流和电压都会影响空间分辨率，但是电压的影响更大。如果可以用低电压激发所有要采集元素的线系的话，担心信号不足时，则可以增大束流。

0

小M

第6楼2012/09/30

应助达人

20KV电压的建议很实用

0

zhangping2727

第7楼2012/10/23

受教~多谢多谢

0

xuexiren

第8楼2012/11/08

我也来排队学习。很实用

0

cvbs11

第9楼2012/12/23

20KV一般用来校正谱峰，看样品的成分来选择比较好，如果样品里没有什么重元素，15KV足矣。

0

sept

第10楼2012/12/29

嗯，需要预先了解自己的样品啊
cvbs11(cvbs11) 发表:20KV一般用来校正谱峰，看样品的成分来选择比较好，如果样品里没有什么重元素，15KV足矣。

0

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