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TF20 gun shift 怎么调？

透射电镜（TEM）

  • 最近发现TF20的beam被调成了三角形，大概是gun shift与condenser stigmation没有调好的原因。
    调gun shift发现最亮点不在beam中或者在beam边沿，用MF-XY也拉不到中心。
    请教1：这时如何调gun shift；
    2： stigmation怎样调才能算调好了？
    多谢！
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    +关注 私聊

  • 大布口袋

    第1楼2012/09/04

    1 亮点不在中间不是用gun shift调的 是用gun tilt调的
    2 spot size比较大的时候 大放大倍数下 beam的确是三角形的 调成对称的等角三角即可

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    +关注 私聊

  • hhwchina

    第2楼2012/09/05

    gun shift是把亮点从边上拉到中央的。

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    +关注 私聊

  • 大布口袋

    第3楼2012/09/21

    是TF20？ 那你照我说的做就可以了
    如果差的很远 打电话联系FEI的工程师 咨询一下如何做Gun部分的alignment

    hhwchina(hhwchina) 发表:gun shift是把亮点从边上拉到中央的。

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