应助达人
建议整理一下维修思路,拍个照片,搞个原创。个人感觉是个很不错的维修思路。
jiuzy(jiuzy) 发表:谢谢楼上各位热心人,工程师来把问题解决了,他是这样做的:
1,更换机械泵,问题依旧,排除机械泵问题
2.拆开机械泵与分子泵的接口,堵住机械泵管口,抽真空正常,排除机械泵之前有漏气的可能,确定是真空区域漏气。
3.把分子泵排气的地方拧紧(叫什么我忘了),问题依旧,说明后门没问题
4.堵住采样锥锥口,抽真空正常。找到故障是真空区域的前门没有关紧。
分析故障原因,可能是氩气用尽熄火时,没有到standby状态就把软件关了,造成门没有关紧。
处理方式,ma模式打开氩气,开门、关门一次。故障解决。