在线检测仪器

有没有老师知道啊？

目前没有听说有相关的仪器，不过可以做为方向发展之一。

通常多用 在线或离线色谱，至少测量单组分，一般的在线分析仪可以胜任。

可以说的详细些吗 我对这方面知道的不多 比如用哪种在线的什么仪器 可以检测硅烷中的哪种杂质含量或几种含量？

我本人并不是搞电子气检测的，所以说的不一定正确。

首先，我们要搞清楚，硅烷内杂质组成，需要检测的组分，

常规的可对下游工艺控制产生影响的主组分，可用单组分的在线分析仪进行检测，如果你有较多的组分都属于主要检测组分，而又需要在线控制，那就要上在线气相色谱，10～30分钟内做一次分析，并输出，如果不需要，就需要离线色谱与在线主成分分析仪组合检测。

色谱这块就不说了，基本都能检测。

在线这块，以组分论

如：CO和CO2，通常选择的是红外和激光。

氯化物总量：检测方法也是有的，需要调查；

烃类：

氢

氮

氧

水，

通常这些级分，都有一定的在线分析仪可供选择，但投资较大。

在这类检测中，色谱法投资较小，在及时性上有欠缺，在线法，投资大，实时控制性较好。这一切都需要自己权衡。

一个外行人的观点。

硅烷在大规模集成电路（LSI）、超大规模集成电路（VLSI）和半导体器件制造中，用于气相外延生长、化学气相淀积等工艺（工序）。
1.    外延（生长）混合气 在半导体工业中，在仔细选择的衬底上选用化学气相淀积的方法，生长一层或多层的材料所用的气体叫做外延气体。常用的硅外延气体有二氯二氢硅、四氯化硅和硅烷等。主要用于外延硅淀积，多晶硅淀积，氧化硅膜淀积，氮化硅膜淀积，太阳能电池和其他光感受器的非晶硅膜淀积等。外延生长是一种单晶材料淀积并生长在衬底表面上的过程。
外延（生长）混合气
序号    组分气体    稀释气体
1
2
3
4    硅烷（SiH4）
氯硅烷（SiCl4）
二氯二氢硅（SiH2Cl2）
乙硅烷（Si2H6）    氦、氩、氢、氮
氦、氩、氢、氮
氦、氩、氢、氮
氦、氩、氢、氮

2.    化学气体淀积（CVD）用混合气 CVD是利用挥发性化合物，通过气相化学反应沉积某种单质或化合物的一种方法，即应用气相化学反应的一种成膜的方法。依据成膜种类，使用的化学气相淀积（CVD）气体也不同。
化学气相淀积混合气
膜的种类    混合气的组成    生成方法
半导体膜



绝缘膜


    硅烷（SiH4）+氢
二氯二氢硅（SiH2Cl2）+氢
氯硅烷（SiCl4）+氢
硅烷（SiH4）+甲烷（CH4）
硅烷（SiH4）+氧
硅烷（SiH4）+氧+磷烷（PH3）
硅烷（SiH4）+氧+磷烷+乙硼烷（B2H6）
硅烷（SiH4）+氧化亚氮（N2O）+磷烷    CVD
CVD
CVD
离子注入CVD
CVD
CVD
CVD

适用标准:
GB/T 15909《电子工业用气体 硅烷》

系统配置:
名称    特点及技术指标
GC-9560气相色谱仪主机    仪器采用大屏幕LCD液晶显示器，中文菜单式操作，并真正实现计算机与色谱主机之间的双向通讯，是国内第一款真正实现计算机反控技术的气相色谱仪。
PDHID检测器    脉冲电压    Valco公司原装进口,一种灵敏度极高的通用型检测器，对几乎所有无机和有机化合物均有很高的响应，特别适合永久气体的分析，是唯一能够检测至ng/g（ppb）级的通用型检测器。
    专用接头   
    金属过滤器   
HP-2氦气纯化器    最大操作压力:1000Psi
去除气体:H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等
残留浓度：≤10ppb
进样及中心切割系统    包括：VALCO吹扫型十通阀 1个
VALCO吹扫型四通阀 1个
色谱柱    预切柱1根，，分离柱2根
数据处理系统    内置双通道数据采集卡    高精度：24位的高精度A/D
输入电平范围：-5mv至+1v
采样频率：最高20次/秒
动态范围：106
积分灵敏度：1μv•sec
线性度：<±0.1%
重现性：0.06％。
    全中文分析软件    可控制色谱仪全部参数
载气专用减压阀    HORO    特制不锈钢减压阀
专用取样阀    CXF-Q4A    无死体积，带放空。
取样与排空系统    HA-108    可满足无泄漏取样与安全排放


技术指标：
PDHID对硅烷中气体杂质检测限（ppb）
H2    O2+Ar    N2    CO    CH4    CO2
50    50    50    50    20    20

技术要点：
硅烷中微量杂质的分析一直是色谱分析的难点。
目前多数采用的热导检测器由于灵敏度有限，很难测定5ppm以下的杂质；火焰离子化检测器和氧化锆检测器是选择性的检测器，只能分析少数几种气体杂质，均不能很好的满足硅烷气体分析的基本要求。
PDHID检测器（脉冲放电氦离子检测器）是一种灵敏度极高的通用型检测器，对几乎所有无机和有机化合物均有很高的响应，特别适合永久气体的分析，是唯一能够检测至ng/g（ppb）级的检测器。
但硅烷的分析是一个复杂的过程，仅有高灵敏的检测器是远远不够的，还要考虑样品本身的特性及其背景，如吸附，取样及分析过程中是否有空气混入，系统的密闭性，取样和排空的安全性等等环节

谢谢啦

您好 这种气相色谱仪是安装在实验室里的吧 是不是不能安装在现场 ？