我也是这个问题,我也用SEM看断面,但是效果也不太好,我们是金属钽层上镀一层氧化膜,高手问下怎么制样好。我的邮箱是775447721@qq.com,你现在怎么处理的,能告诉下我吗?
cxlruzhou(cxlruzhou) 发表:SEM 观测薄膜表面的形貌特征相对容易一点,而观测薄膜的断面
相对来说需要细致的制备和观测,特别对于多层薄膜的断面观测。
想知道大家用SEM 测试的薄膜断面结构什么样子?也可以说,薄膜
的纵向生长模式。如通常观测到的柱状生长方式等。。。
请大家谈谈自己的看法吧 (可根据实际测试的和文章中发表的sem
images)