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[请教+讨论] 大家用SEM 观测到的薄膜样品的断面结构是什么样子的?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • SEM 观测薄膜表面的形貌特征相对容易一点,而观测薄膜的断面

    相对来说需要细致的制备和观测,特别对于多层薄膜的断面观测。

    想知道大家用SEM 测试的薄膜断面结构什么样子?也可以说,薄膜

    的纵向生长模式。如通常观测到的柱状生长方式等。。。

    请大家谈谈自己的看法吧 (可根据实际测试的和文章中发表的sem

    images)
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  • cxlruzhou

    第1楼2006/05/31

    我先上传一张Cross-section SEM image, 以供鉴赏。很喜欢这张照片,确实照得很不错,此图为thin film Si solar cell 器件的整个剖面图(光电子器件)。

    借此抛砖引玉,期待大家发表意见,讨论交流。

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  • ustbedu

    第3楼2006/06/02

    你的薄膜厚度是多少?

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  • cxlruzhou

    第4楼2006/06/03

    薄膜厚度你可参考图中标尺。。。

    断层SEM图片说明:
    这张图是生长在玻璃衬底上多层薄膜,最上面一小薄层是ZnO, 中间比较厚整层(6薄层构成)的是solar cell 的芯片,结构为p-i-n(a-Si)/p-i-n(uc-Si),下面一层是SnO2。

    另外,这幅图的制样很有特色。

    ustbedu 发表:你的薄膜厚度是多少?

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  • liwanchun993

    第5楼2006/06/03

    好漂亮的照片啊
    薄膜的生长方式很清楚啊

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  • superb2005

    第6楼2006/06/20

    请问是如何制样的?

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  • xiaoshuai4860

    第7楼2006/06/20

    看到高手的图,很是兴奋!!

    我的NiTi合金上搞的膜,但NiTi合金韧性比较好,不容易折断,线切割等又破坏了表面,请问高手怎么制样

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  • cxlruzhou

    第8楼2006/06/27

    这个不是我们自己的样品,听说IMT做了好多次才做出来的。

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  • 天蓝蓝_sl

    第9楼2013/05/08

    我也是这个问题,我也用SEM看断面,但是效果也不太好,我们是金属钽层上镀一层氧化膜,高手问下怎么制样好。我的邮箱是775447721@qq.com,你现在怎么处理的,能告诉下我吗?

    cxlruzhou(cxlruzhou) 发表:SEM 观测薄膜表面的形貌特征相对容易一点,而观测薄膜的断面

    相对来说需要细致的制备和观测,特别对于多层薄膜的断面观测。

    想知道大家用SEM 测试的薄膜断面结构什么样子?也可以说,薄膜

    的纵向生长模式。如通常观测到的柱状生长方式等。。。

    请大家谈谈自己的看法吧 (可根据实际测试的和文章中发表的sem

    images)

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  • asahi42

    第10楼2013/05/08

    您看看这个06年的帖子,LZ账号都已经销号了,您与其在这里问他,不如自己新建一个帖子,顺便上上图?

    天蓝蓝_sl(v2726462) 发表:我也是这个问题,我也用SEM看断面,但是效果也不太好,我们是金属钽层上镀一层氧化膜,高手问下怎么制样好。我的邮箱是775447721@qq.com,你现在怎么处理的,能告诉下我吗?

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