毒菇九剑
第8楼2013/02/27
能谱仪的有效面积增大对于微区分析来说非常有帮助。根本原因就在于它减少了能谱对于大束流和高电压的依赖,从而可以:
1)在低电压下仍然能够得到足够的计数率,从而大大提高能谱的空间分辨率,SEM上可以到几十个nm,结合STEM可以到几个nm
2)在小束流下仍然有较高的信号,从而兼顾能谱的信号强度和电镜图像的清晰度、减少样品的污染和破坏。以往做电镜时用小束流,打能谱时一定要放大束流,图像质量就难以保证了,二者很难兼顾。大面积的能谱基本解决了这个问题。
3)可以在短时间内完成Mapping,从而缓解了高倍下样品的漂移带来的影响。
当然还有其他好处,就不一一列举了