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STEM模式下astigmatism 调节

  • LittlePanda
    2013/10/09
  • 私聊

透射电镜(TEM)

  • STEM模式下,一般是先用STEM image做参考,调节condensor stigmator, 然后退出diffraction模式,如果probe不圆,再用objective stigmator把它调圆。

    想问一下为什么?物镜是最后的probe forming lens, 那如果objective stig不对,应该也会影响分辨率吧。
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  • 洪星二锅头

    第1楼2013/10/09

    物镜有像散肯定会影响分辨率,而且很直接也很明显

    至于像散造成的具体原因建议最好拿相关的说看看,如果将电子束的传播路线理解成光路图一样,那么物镜就像相当于将光路汇聚,但是汇聚的地方不能看能一个点,而是一个盘,当然形成的盘越小分辨率相应的也应该越高,如果汇聚成的盘是扁的,说明在某个方向的电子束汇聚程度不一样,形成的像必要是虚的,这就需要有个像散调节器要人为的调节,达到接近理想的状态

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  • LittlePanda

    第2楼2013/10/09

    可是在调节STEM image的时候,都是用condensor stig去调ronchigram或image来矫正象散的。

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  • iamikaruk

    第3楼2013/10/10

    STEM的信号在倒空间接收,而objective lens的象散也是在倒空间,因此象散只影响相位不会影响强度。

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  • longwood

    第4楼2013/10/10

    如果你的问题是objective lens 既是probe forming lens, 又是imaging lens, 那么你调objective lens 的stigmator, 并没有改变objective lens current,所以对probe forming lens 那部分没有变化。

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