EDS本质是EDXRF么？

应助达人

我不是大神，但希望我的回答能够帮到你。
首先看两个缩写的全称，然后看他们的用途，就会明白其区别所在。
EDXRF是指Energy Dispersive X-Ray Fluorescence的缩写，（能量色散型）X射线荧光光谱仪，它是以X射线激发样品，产生特征X荧光，然后利用能量色散的技术进行分光，分析样品元素组分的；
EDS是Energy Dispersive Spectrometer的缩写，通常是指附加在SEM或者TEM上的能谱探头。它是利用电子束激发样品，测试产生的特征X荧光，然后利用能量色散的技术进行分光，分析样品元素组分。
看完了上面的内容，你就知道，这两种仪器不过是激发源不同，但是检测器其实是一样的。功能也是一样的，都是分析元素的。
不过由于激发源不一样，两个仪器其实大不一样。电子束在空气中走不远，需要高真空，所以SEM或者TEM往往都加配一堆真空泵。X射线穿透空气能力很强，所以空气中就可以测试，典型的如手持式EDXRF。
电子束聚焦很容易，所以电镜上的SEM通常用来做异物分析，失效分析，分析um区域的成分，配合样品台移动或者电子束偏转，可以做元素面分布（Mapping）。X光聚焦很困难，在电场中磁场中都不偏转，这也是当年伦琴把他叫X射线的原因，所以往往都用在mm量级的样品分析上。
XRF由于有标样支撑，可以使用检量线的方式得到含量结果，准确度相当不错，比如首饰中的黄金含量分析。而电镜上的EDS在这一块就差得远了，也就是半定量的水平，还经常被碳污染搞得焦头烂额。

专家分析的很到位给我们上了一课

激发源不同，一个是电子束一个是X射线，X射线穿透力更强，电子束基本上只能做表面探测。电子束可以聚焦，可以做微区检测。检测器是一样的，现在都用SDD吧。我们公司也很快要进一台电镜，蔡司电镜加牛津EDS，到时候搞搞看。

请教一个问题，我看电镜是可以选装WDS检测器的，跟WDXRF一样原理的吗？

应助达人

首先我要说，你们真有钱，蔡司电镜，牛津能谱，啧啧，然后回答你的问题。

差不多，其检测系统和WDXRF的检测系统很像，都是利用布拉格反射分光，然后检测。好处是可以获得很高的分辨率（大约10eV，MnKa），在EDS系统分辨率（通常在120~160eV，MnKa）不尽人意的时候，可以确定的鉴定某个元素有还是没有。比如TiKa和BaLa，比如SnLb和CaKa，EDS都是分不开的，WDS上两个峰位置差得老远，无需考虑干扰问题。

不过由于电镜上的电子束流往往很小，所以激发荧光信号很弱，SEM电镜上的WDS系统往往效果并不如宣称的那么好。而能谱探头就没有这个问题，因为可以拉得很近，获得较大的检测立体角，从而获得强的信号。

要想使用大电子束流，并使用WDS分光获得较高的灵敏度和分辨率，那就是另外的仪器了，通常叫电子探针，EPMA。

感谢你的回复，解答了我的疑问。其实我就是怀疑它的效果，因为我是用WDX的，总所周知WDX需要很大功率，而电镜的功率很小。

我也有此意！

感谢指导！！！！

应助达人

汗~