每周一问新二：请问场发射电镜到底有没有束斑(SPOT/CROSSOVER)的概念呢？

绝对有SPOT SIZE的设计概念
SPOT大可以得到好的景深
而SPOT SIZE较小时,能够得到较高的倍率和解析度. 然而, 影像看起来会较沙, 因为影像S/N 比
(signal/noise)的关系, 而此取决于照射电流. 当你试着去减少电子束的直径, 电子束电流(probe current)也会减
少. 换句话说, 根据倍率、观察条件(包含加速电压,样品倾斜..等) 和样品本身来决定电流的设定.....
不知是否回答的正确??

spot size也就是斑束直径，当聚焦的越来越细时，景深当然会越来越大
同时图片质量分辨率更高
我觉得这个问题问得有点糊涂啊
老兄，你说对不？？？？

严格来讲， 场发射是没有 束斑SPOT的概念的， 束斑SPOT FEI又叫交叉斑 CROSSOVER， 是电子束在被 缩小倍率的时候形成的， 是由于聚光镜 CONDENSOR的作用形成的。
因此SPOT的概念是由钨灯丝镜筒发展建立起来的， 钨丝发射源直径大，发散性强，需要多级聚光镜来完成形成观测束斑， 一般两级， 有的厂家设计多达四级。
由于场发射源直径已经极小，发散性弱， 所以在设计上并不需要镜筒中的聚光镜。
但是， 厂家特别像 FEI 主推所谓 环扫的， 为了避免低真空或可变压力状态下对束流发散性的影响， 不得不在镜筒中采用双聚光镜。
这就决定了如果您用的是 FEI 的场发射， 就会接触到束斑的调节，但是如果是其他厂家的， 就不一定哟。

再说这位兄台的困惑。
您说的概念一点没错， 但也许更使用于钨灯丝的镜筒。
您用过场发射吗，还有那个厂家的。

四楼的兄台：你说的是场发射电镜一般不用调节束斑，这不能说没有spot size 这个概念吧？
还有，有两个兄弟说到景深，怎么是相反的意见？
请高手指点。

上面说过，束斑是由于聚光镜作用电子交叉形成的， 场发射镜筒中没有这个交叉，所以场发射是不应用束斑的概念的， 个别厂家自己的软件沿袭了钨灯丝镜筒的思路，用户也无所谓，给了就用。
所以再澄清一下，个别厂家的软件不能代表实际状况，更不能代表其他厂家。
您认为景深是应该怎么变化呢， 很明显，其中一位笔误。

首先谢谢楼上的回复，谢谢！
那我要再请教一下，FE场发射的电镜不用束斑用什么来表征景深呢？
不知道问的对不对？

所以说操作场发射比操作钨灯丝要简单， 因为没有的对束斑的要求， WD大时景深就深， 再澄清一下， 景深就是 DEPTH OF FIELD，景深是扫描电镜的优势所在。

我认为不管用的是什么厂家的电镜，spot size总是存在的
电镜用的总是电子束吧？只是厂家的习惯罢了
景深当然是spot size大的时候更好
想象束斑变成平行电子束的时候，束斑最大，景深最好，可是分辨率还有倍率就最差了
不知道这样说对不对？