[讨论]RF故障---指的具体是哪个位置的东东有问题？？？？？？？？

RF就是指高频电源，按你的现象是高压加上了，直流升压部分应该没问题，但因为，不稳定而自动保护熄火，不知你的是自激式电源还是它激式电源，自激式电源可能是反馈上出问题了，它激式可能是振荡器出问题了。

它激式的，振荡器的具体就是那个电磁线圈吧，好像很贵的，大约要多少钱？可以更换一个振荡器。

线圈是线圈，振荡器在后面呢！

没有原理图，真的很难搞，没有可鉴性，希望大家在买设备时，一定要厂家提供电路原理图，以后实在迫不得已时，可拿出来应急。

　　加在ICP光源上的不是直流电压，是射频交流高压。

　　铜线圈只是振荡电路的一个部分，它不容易坏，问题应该在产生振荡和功率放大的部分。出现这种情况我觉得最好找厂家。

RF=Radio Freqency
射频发生器=RF generator

icp光源一般采用两个振荡频率，27.120MHZ和40.68MHZ。
对于自激式电源，只需调整LC振荡线圈即可获得，所需的振荡频率。
而对于它激式电源，振荡频率由石英晶体振荡器取得，一般石英晶体振荡器的固定频率在20MHZ以下，对于27.120MHZ的光源，一般采用6.78MHZ的晶体，经过两次倍频达到27.12MHZ，在经过前置预放大及功率放大输给感应线圈与氩气形成等离子体，同时从功率输出取样通过自动增益控制电路控制倍频到前置放大，使系统功率稳定。
40.68MHZ的它激式光源采用10.17MHZ石英晶体，两次倍频到40.68MHZ。其他与27.12MHZ基本相同。
一般ICP功率需要1.2KW以上，而高频功率管只有2-300W，所以需要多个管子功率合成，而每个管子价值不菲，需要几百美元。

楼主的ICP应该没有大问题，只是在反馈环节上有个别元件不稳定，找厂家维修是最简捷的方案。

大哥.你的铜线圈容易遭腐蚀吗?它该如何清洁?