熄火后关机步骤

应助达人

熄灭等离子体后，退出软件，关冷却循环水机，再关气。

厂家没有培训或者资料告诉你怎么关机？

应助达人

一般都是这样的

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资料是有的，不知道大家实际如何做？做饭法是否有区别？

应助达人

熄火后关水、关气、关抽风。

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很多公司的仪器房空调都是不关的

关闭RF电源开关，等待5-10S，关闭主机电源开关，关闭氩气气瓶总阀门（也可放在后面关）关闭电源稳压器开关，关闭控制箱电源（内含空开和交流接触器，RF专线总开关），松开泵管（也可以主机电源关闭后松开），等待10MIN，关闭循环冷却水箱电源开关，这10分钟内整理记录，清理样品，擦拭机台，时间到后关闭设备，环视一周，OK，闪人！

不同品牌的ICP要求也不一样的。。。

的确与使用的仪器品牌有关，还有冷开机和热开机的问题
一般是先关软件、水、气、抽风