【求助】扫描电镜离子泵无法启动

UNM 2014/09/29

个人经验： 1.先检查机械泵是否能正常工作，看机械泵是否漏气或其他原因。 2.机械泵没问题，且系统真空能达到要求，再检查分子泵是否又问题。 3.机械泵和分子泵没问题，再去检查离子泵。 4.离子泵的问题可能有老化（我们的用了10年），而可能是电路或者真空板有问题。 纯属个人意见，希望对你有帮助。