TEM投入使用整三年了，考虑请厂家做个大维保，请各位帮建议下，都可以做哪些内容呢？

只用不修的拜~~~~~

冷却水箱清洗。潘宁规清洗。光栏清洗。高压电缆头处理，等。

非常感谢！

光栏还要清洗啊~~~~~~

光栏的清洗是用烧的方法。但要有对应的设备。

现在他们都不给清洗了 去年我们扫描电镜上的物镜光阑直接给换新的了

可以考虑一下，

机械泵的油， 过滤网，换一下；看看油封有没有漏油。
penning规， 皮拉尼规 电位调节到最佳位置。

光阑看看有没有污染，如果有的话，换一下；
轨迹球有没有脏，如果操作不顺的话， 可以考虑清理一下；
光路可以重新合轴一下，看看中间镜， 投影镜的机械合轴是不是还在正常范围内，否则调整一下机械合轴。

测角台机械调整；

三个真空部分（枪，镜筒，照相室），可以做下测漏， 看看有没有问题。

高压箱 和 电子枪的SF6压力有没有变化。

高压输出的纹波是不是正常。