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EDS分析时低电压与高电压的选取问题及其相关元素判断

hongdesky

2016/08/14

扫描电镜（SEM/EDS）

EDS分析某个样品时，刚开始用5KV电压，发现有C, O, Fe, Ti, Cr, Sn元素，后又用10KV再次分析，而10KV电压下，只出现C, O, Sn元素，怀疑Ti, Fe, Cr是重叠峰元素干扰了，但在5KV下这三个元素含量还是挺高的，特别是Ti元素。然后我尝试人为删去Ti元素后，发现Cr, Fe元素含量变为零，而如果删去Cr, Fe元素，Ti含量依然较高，一时想不通，请前辈们指导下？
另外，我一直认为如果在低电压下含有某种元素的，但在高电压下却没有，是否就可以认为此元素不存在呢？
谢谢！

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fengyonghe

第1楼2016/08/14

低压下L线系多且距离近，很容易重合，尽量用K线系判断。Fe及其附近的元素用15KV比较合适，20KV也可以。

1

cvbs11

第2楼2016/08/18

要看样品的厚度，如果采集点厚度很薄，那么5KV和10KV,15KV测试出来的结果可能会差别很大

0

hongdesky

第3楼2016/08/21

谢谢冯老师回答，其实材料主要应该是Sn，只是在5KV下出现了Ti Cr Fe而不敢判定
fengyonghe(fengyonghe)发表:低压下L线系多且距离近，很容易重合，尽量用K线系判断。Fe及其附近的元素用15KV比较合适，20KV也可以。

0

hongdesky

第4楼2016/08/21

我也是这样认为
cvbs11(cvbs11)发表:要看样品的厚度，如果采集点厚度很薄，那么5KV和10KV,15KV测试出来的结果可能会差别很大

0

fengyonghe

第5楼2016/08/23

20千伏下EDS信号深度大约2-3微米，如果样品厚度不大于3微米，应该充分考虑高压的影响。

0

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