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SEM喷碳时存在碳屑

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 样品在喷碳后都总有很多碳屑存在,请教各位大神怎么解决?
    我们公司用的是日本家单位产的VC100喷碳仪。下图是我在陶瓷片上喷碳照片。。。
    各位老师帮帮忙啊。。。
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  • 驰奔仪器

    第1楼2016/09/08

    用碳绳还是碳棒?

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  • fengyonghe

    第2楼2016/09/09

    是你用的碳棒不太好,激发出碎屑

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  • 沃世德

    第3楼2016/09/09

    也可能是由于真空度比较低,这是真空度比较高的碳膜。

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  • Vivian_87

    第4楼2016/09/09

    用的是普通的2B 铅笔芯,0.5mm的。自动铅笔里用的那种。

    驰奔仪器(SH103843) 发表:用碳绳还是碳棒?

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  • Vivian_87

    第5楼2016/09/09

    铅笔芯是买仪器时厂家给的,,说明说上也说用自动铅笔芯,B 到4B的都行。后来的我们自己买了一种自动铅笔芯还是一样的有碳屑。。。

    fengyonghe(fengyonghe) 发表:是你用的碳棒不太好,激发出碎屑

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  • Vivian_87

    第6楼2016/09/09

    真空度一般能抽到2到3pa之间,仪器说明是要抽到小于2pa的。。但是这个真空抽的很慢,达到2Pa以下要很久,一般稍微大于2pa也会开始喷。。这样的真空度还是不够大?
    喷完碳和喷碳前我们都是用洗耳球吹电极,遮板,真空室的上下密封圈的,还想请教大师们喷完碳是怎么清理喷碳仪的呢??
    还有我发现每次碳丝烧断后真空度下降的很快,难道是之前烘烤和除气的不彻底才导致真空度下降的很慢的?

    沃世德(v2797846) 发表:也可能是由于真空度比较低,这是真空度比较高的碳膜。

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  • 不可救药之人

    第7楼2016/09/14

    应该是碳棒的质量不行

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  • fengyonghe

    第8楼2016/09/17

    铅笔肯定不行,碳棒的硬度是很高的,直径5mm,还要削成特定的形状,你们有没有买削碳棒的机器?

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  • Vivian_87

    第9楼2016/09/18

    没有买削碳棒的机器, 因为现在用的自动铅笔芯都只有0.5mm, 那要买什么样的碳棒才好用呢?哪里有的卖?

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  • gao007007

    第10楼2016/09/21

    1. 机器要及时清洗,以免污染物过多。喷碳仪比较容易脏
    2. 买好一点的铅笔芯,如三菱的

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